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去离子水/超纯水水质标准（国家电子级水质标准）
说明：
1、 一级超纯水，水样接触到空气后，电阻率18 MΩ，cm(25℃)会下降。
2、 电阻率和电导率是倒数关系。
|
指标 |
EW-Ⅰ |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
EW-Ⅴ |
|
电阻率 MΩ·cm（25℃） |
18 |
15 |
10 |
≥2 |
≥0.5 |
|
大于1μm微粒数，最大值，个/mL |
1 |
5 |
10 |
100 |
500 |
|
大于0.5μm微粒数，最大值，个/mL |
100 |
300 |
500 |
1000 |
2000 |
|
细菌个数，最大值，个/mL |
1 |
5 |
10 |
50 |
100 |
|
总有机碳含量，最大值 |
50 |
100 |
200 |
1000 |
1000 |
|
二氧化硅总含量，最大值 |
2 |
20 |
50 |
100 |
1000 |
|
氯含量，最大值 |
0.5 |
2 |
10 |
100 |
500 |
|
铜含量，最大值 |
0.2 |
2 |
5 |
50 |
500 |
|
钾含量，最大值 |
0.5 |
5 |
10 |
100 |
1000 |
|
钠含量，最大值 0 |
0.5 |
6 |
10 |
200 |
500 |
|
锌含量，最大值 |
0.2 |
2 |
10 |
100 |
500 |
|
铝含量，最大值 |
0.5 |
5 |
10 |
100 |
500 |
|
铁含量，最大值 |
0.5 |
5 |
10 |
100 |
500 |
|
钙含量，最大值 |
0.5 |
5 |
10 |
100 |
500 |
中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准
化学指标单位：μg/L
|
指标级别 |
一级 |
二级 |
三级 |
四级 |
|
在线电阻率 MΩ，cm(25℃) |
18以上，（95％时间）不低于17 |
15，（95％时间）不低于13 |
12.0 |
0.5 |
|
在线电导率 μS，cm(25℃) |
0.055 |
0.066 |
0.083 |
2 |
|
全硅，最大值,μg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
|
＞1μm微粒数，最大值，个/mL |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
|
细菌个数，最大值，个/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
|
铜，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
|
锌，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
|
镍，最大值，μg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
|
钠，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
|
钾，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
|
氯，最大值，μg/L |
1 |
1 |
10 |
1000 |
|
硝酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
磷酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
硫酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
总有机酸，最大值，μg/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
